확산 스크러버의 원리

확산 스크러버의 원리

" DAIHAN" : 휴대용 기체 샘플링 장치 PAS-9902 (암모니아, 지방산류, 아민류외, 모든 수용성 기체)

■ 제조국 / 제조사	■ Korea / 대한과학
■상품명	■ 휴대용 기체 샘플링 장치
■ 짧은 소개	FAB 내부의 유해기체의 영향 반도체 공정 내 DUV(Deep UltraViolet) lithography과정에서의 photoresist와 air 간의 접촉 공간에서의 오염이나 불순물의 존재는 중요한 문제의 하나이다. 그 중에서 암모니아(ammonia, NH3)와 아민(amines)류 가스의 존재는 낮은 농도만으로도 상당한 문제를 야기할 수 있다. 이는 NH3 가스가 단지 대기 중에서만 존재한는 것이 아니라 클리닝 용액, 그리고 웨이퍼 처리 용액들에서도 존재하며 실리콘 웨이퍼와 표면처리제 사이에서의 반응에 의해서도 발생하므로 항상 공정 내에 존재하게 되어 문제를 야기한다. 암모니아의 경우 그 화학적인 성질은 알칼리성을 가지고 있으며 DUV 과정에서의 빛에 의하여 생성된 산이나 촉매에 의해 생성된 산을 중화시킴으로써 DUV 과정을 방해한다. 그러므로 256 MDRAM, 512 MDRAM 등의 제조 과정에 있어서 특히 회로의 선의 굵기가 0.10~0.17 µm 정도로 얇은 경우 방해 물질인 ammonia와 amine의 즉각적인 검출및 지속적인 모니터링은 필요한 기술이다. .

■ 제 품 특 징 (Features)

확산 스크러버의 원리

정해진 경로를 수평하게 직선 방향으로 진행하는 기체는 수직 방향으로 확산(Diffusion)도 하게 된다. 이러한 확산 운동을 하는 기체가 액체는 통과하지 못하는 기체는 들어갈 수 있는 다공성의 막(membrane)을 통과하여 흡수액으로 용해되어지는 현상을 이용한 기체 농축 방법을 Diffusion Scrubber 방식이라 한다. 이때 기체 분자는 막의 구멍(pore) 형태과 흡수액과의 접촉 면적에 따라 농축효율이 변화한다.
이 방법의 장점은 연속적으로 빠른 시간 내에 기체를 농축할 수 있다는 점이다. Diffusion Scrubber의 효율을 향상시키기 위해서는 막의 구멍 형태 조절과 기체-액체의 계면을 최대화할 뿐만 아니라 기체-액체의 이동 경로를 최적화 하여 대부분의 기체가 정해진 시간 내에 흡수액에 최대 용해가 일어나야 한다.
기존의 Diffusion Scrubber 방식은 기체 분자의 농축율이 50 % 에 불과할 뿐만 아니라 반복적인 조건에서 재현성이 떨어져서 정량적인 기체 모니터링이 불가능했다.
(주)랩솔루션은 이러한 단점들을 보완하여 96 % 이상의 우수한 농축 효율을 보이고 calibration이 필요 없이 연속적으로 사용할 수 있는 Diffusion Scrubber를 개발하여 휴대용 기체 포집기 및 암모니아 분석기에 채택하고 있다.

■ 규격 (Specifications)

확산 스크러버의 흡수-농축 효율

Flow Rate(l / min)	0.20	0.50	1.00	2.00
CH₃COOH SO₂ HCl NH₃ MMA EA DMA TA	1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 0.99	1.00 0.99 0.99 1.00 1.00 0.99 1.00 0.98	0.91 0.97 0.95 0.98 0.93 0.90 0.92 0.56	0.65 0.77 0.86 0.84 0.85 0.74 0.75 0.04
* Measured by DIONEX DX-500 Ion Chromatography

모 델 / 가 격

CAT No.	Description	단위/갯수	Price[VAT포함]
가격문의

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