Sapphire Wafer SPEC     Sapphire Wafer SPEC Sapphire Wafer 란? Al2O3가 2300도 이상에서 단결정으로 성장된 결정체를 Sapphire라고 합니다. Sapphire 특성 1. 저온 및 고온 안정성 - 극저온에서 초고온까지 상변태없이 매우 안정적이다. 2. 우수한 기계적 성질 (Knoop 2000), 경도가 Mohs9 로써 다이아몬드 다음으로 높다.산과 알카리에 상당히 강함. 3. 뛰어난 광학특성 -빛의 투과성이 가장 뛰어난 재료, Index of refraction : 1.769 4. 우수한 열전달 특성 - 세라믹 재료중에서 금속과 맞먹는 열전도도를 가짐 - 열전도도 : 20-25w/m/k - Dielectric constant : 7.5 to 13 - Electrical resistance 10¹⁴ohm/cm at 500C 특 성 표 Chemical Formula Al2O3 Crystal Class Trigonal Molecular Weight 101.94 Density ( g/cm8)(20도) 3.98 Reflection Loss, % for two surface at 4um 12 Dielectric Constant for 102-108Hz at 298 Parallel Perpendicular 10.55 8.6 Melting Temperature 2300 Thermal Conductivity,W/(mk) at 300K Parallel Perpendicular 35.1 33.0 Thermal Expansion,1/K at 293K Parallel Perpendicular 5.6X10-6 5.0X10-6 Dielectric Constant at 1Mhz Parallel Perpendicular 11.5 9.4 Bandgap,ev 9.9 Solubility in water None Knoop Hardness,kg/mm2 1370 Young's Modulus,GPa 335 Shear Modulus,GPa 148 Bulk Modulus,GPa at 273 K 240 Apparent Elastic Limit,MPa 275 Poisson's Ratio 0.25 Orientation 1. Orientations Sapphire 는 Hexagon/rhombohedral 구조로 많은 특성이 결정의 방향에 따라 결정이 된다. Epi growth 에 대해서는, 다른 결정 방향은 epi 물질과 일치하는 격자상수의 범위를 가져야 한다. 2. Substrates C-plane sapphire 기판은 Blue LED 에 사용되는 GaN 과 같은 3-5족과 2-4족에 사용되어진다. 더욱이, C-plane 은 infrared detector 의 적용분유에 유용하다. A-plane 기판은 일정한 유전율을 가지고, hybrid microelectronic application 에 사용되어지는 높은 절연성을 또한 가진다. High Tc superconductors 은 이 기판을 사용하여서 만들어질 수가 있다. R-plane 기판은 microelectronic IC 에 사용을 위해서 실리콘의 Hetero-epitaxial 증착에 사용되어진다. Sapphire 는 높은 유전율 때문에 microwave IC 와 같은 hybrid 기판에 사용이 적당하다. 게다가, epitaxial 실리콘 과정에 필름을 바를 때, 빠른 속도의 IC 와 pressure transducers 이 만들어 질 수 있다. Thallium 성장시, 다른 superconducting components, high impedance resistors, and GaAs 이 적용될 수 있다. 3. Application - GaN, 3-5 족, 2-4족 Compounds - IR Detectors - High Tesuperconductors and High Frequency Dielectrics. High speed IC's and Pressure Transducers GaAs wafer carriers SOS (Silicon On Sapphire) Orientation : A-Plane(1120), C-Plane(0001), R-Plane(1012) 또는 Size up to 4" diameter. 당사에서는 Polished Sapphire Wafer에 대해서 다음의 Spec이 공급 가능합니다. Specification of polished Sapphire Wafer Type: polished Monocrystalline, SEMI M3-91 Material: Kyropolos high-purity monocrystalline AI2O3 Orientation: C-, A-, R- Plane ± 0.25 degree, ± 0.10 degree on request Diameter: 2 inch - 6 inch ± 0.50 mm, C-Plane: 2 inch - 5 inch Physical parameters: Thickness, Center Point: SEMI or on request > 0.25 mm Toatal Thickness Varaiation TTV: < 10 microns; typical, other on request Bow: < 15 microns; typical for 2 inch Taper: < 15 microns; typical for 2 inch Primary Flat: SEMI standard, or on request Orientation: according to SEMI standard ± 0.5 deg. Front surface finish: Particles: < 10 @ 0.3 microns Roughness (Ra): < 1.0 nm; typical, others on request Surface quality: Epitaxial polishing (MIL 20-10) Back surface: Surface quality: Fine grinding Package: 25 wafers, EMPAK Ultrapack cassette, double bagged Specification of Ground Sapphire Wafer Type: Ground finish Material: Kyropolos high-purity monocrystalline AI2O3 Orientation: C-, A-, R- Plane ± 0.25 degree, ± 0.10 degree on request Diameter: 2 inch - 6 inch ± 0.50 mm, C-Plane: 2 inch - 5 inch Physical parameters: Thickness, Center Point: SEMI or on request > 0.15 mm Toatal Thickness Varaiation TTV: < 20 microns; typical, other on request Bow: < 20 microns; typical for 2 inch Taper: < 20 microns; typical for 2 inch Primary Flat: SEMI standard, or on request Orientation: according to SEMI standard ± 0.5 deg. Front surface finish: Roughness (Ra): 0.8 - 1.2 microns Surface quality: ground, ready for polish Back surface: Roughness (Ra): 0.8 - 1.2 microns Surface quality: ground, ready for polish Package: to prevent breakage 홈페이지 : http://daihanscience.koreasme.com 회사명 : http://www.daihan.net 대한과학연구기자재 전화번호 : (1)02-967-5978 비상연락 (H.P) : 011-768-8228 (2)02-3673-0199 팩스번호 : (1)02-967-5979 (2)02-3673-0271 주소 : (1)서울특별시 성북구 상월곡동 24-4 대한빌딩서울 (우편번호: 110-123) (2)서울 종로구 인의동 웅진빌딩 별관 210호 (우편번호: 110-785) (3)■ 택배/화물서비스 : 당사에서는 100,000원 이상 구매 고객 분 에게는 당사에서 부담합니다 ( 택배 : KGB, 삼성, 화물 : 양양,대신,호남) ........................... 주거래은행 : ■ 예 금 주 : 김 민 옥■ 우리은행 : 048 - 401225 - 13 - 001 ■ 기업은행 : 086 - 023287 - 03 - 019 ■ 국민은행 : 045 - 24 - 0267 - 056 URL : (1)http://www.daihan.net (2)http://대한과학.net E-mail : daihansci@yahoo.co.kr